中国炮轰透社：恶意消息来捧杀中国光刻机暗示

　　时间回溯到20世纪80年代，彼时的光刻机霸从是美国的GCA公司（地球物理公司），其次是美国的珀金埃尔默、日本的尼康、佳能再加上荷兰的ASML。

　　林楠博士已经取荷兰半导体察看者、《新鹿特丹商报》记者马克·海金克一路接管了察看者网旗下对话栏目标专访。正在傍边，掌管人对二人倡议提问：其他企业能否能够效仿ASML的成功经验，复制出一套全新的光刻机系统？

　　你必必要每个零部件之间彼此无效的整合运转，这涉及到大量的工程问题和手艺经验。我们并不是说复制ASML光刻机这条径是完全不成能的，但你想要制制出程度不错而且能够商用的设备，需要破费很长时间。

　　上海察看者网认为，该演讲了的：内容并非完全虚假，但也不完全实正在。的手段是将一些消息性的毗连正在一路，从而自动指导你得出相关结论。所以，我们需要对透社的专栏演讲提起高度，其的处所并不正在于该说了什么，而是正在于该是怎样说的。

　　我们提取一些环节词：中国国产EUV光刻机、前ASML工程师、逆向工程，然后我们对这些环节词进行阐发。

　　皮恩暗里查询拜访发觉，NEC公司答应尼康对采办来的美国光刻机进行拆解，可是尼康对其拆解之后从头拆卸的过程中呈现问题，导致光刻机宕机，这才求帮于美国GCA。

　　马克·海金克对此暗示即便你领会了光刻道理，而且具有了制制图纸、制制材料、所需零部件，你也很难将其制制出来，何况也没有图纸给你看。

　　1981年，尼康发布了NSR-1010G步进式光刻机。经客户反馈，该光刻机取美国GCA的光刻机正在架构、晶圆台、瞄准系统等多个手艺范畴一模一样，整个财产都将尼康的NSR-1010G光刻机认定为美国光刻机的复成品，可是美国GCA办理层对此却毫不正在意。

　　对于一些经常关心中国芯片财产的不雅众来说，透社的内容仿佛很有事理，可是对于整个中国芯片财产来说，透社的内容又存正在多种不合理的说法。

　　可是跟着手艺的成长，日本企业占领优势，ASML也凭仗着PAS系列光刻机打开市场，美国的光刻机财产起头走下坡。珀金埃尔默被财团收购放弃光刻机营业，GCA则是被硅谷集团收购。

　　日本通产省牵头，推出了超大规模集成电打算（VLSI）。尼康、佳能、东芝、电气株式会社（NEC）均是该打算的搀扶企业。因为尼康本身就是保守光学手艺起身，所以间接承担了日本光刻机的研发项目。

　　正在半导体财产的成长史上，确实发生过对光刻机进行逆向工程，然后制制出另一台光刻机的例子，不外这个工作成立正在特定的汗青前提下。

　　林楠博士也进行阐发称，对于手艺人员来说，若是有选择的环境下，手艺人员不情愿再做反复的工作，但问题是正在于你有没有能选择的前提。纯真的手艺复制并不是什么挑和，良多时候是正在华侈工程师的时间。前人曾经把良多工作都做了，你反复去做是没成心义的。若是你想做，那就该当用分歧的体例去做。

　　以至有美国客户将尼康抄袭美国手艺的文件发送给GCA，GCA也对此嗤之以鼻，并暗示日本企业就算抄袭了美国手艺，那么他们也只能学到外相，制制出来的产物底子比不外美国。尼康能卖出货去，完满是由于日本要求企业支撑国产设备，所以尼康的光刻机被内部消化了。

　　日本NEC是美国GCA公司的客户之一，GCA的办事司理肯·皮恩正在这个期间接到了日本NEC的求帮，NEC采办的光刻机呈现宕机的环境，要求皮恩进行手艺阐发。皮恩率领工程师来到了日本NEC公司，正在进行手艺修复的过程中，皮恩发觉光刻机存正在被私拆的踪迹。

　　特别是透社将逆向EUV这种方式给中国团队，暗示中国团队采用该手艺制制国产光刻机，让中国企业陷入一种被动的境地。

　　林楠博士的立场很大白，虽然跟从国外的手艺标的目的成长手艺是一条清晰的径，但这种方式终归是别人从导的。想要实现实正的手艺逾越，必必要从根本起头一点点堆集经验，持续深切研究相关的财产手艺，只要本人搞懂的整个流程，才能最大限度实现光刻机的自从可控。

　　透社正在12月17日登载了一篇专栏演讲，该演讲指出中国科学家曾经正在深圳的尝试室内完成了EUV光刻机的原型机制制。而且该原型机由前ASML工程师参取此中，通过逆向工程的方式完成了EUV的零件制制，估计2030年无望实现用国产EUV制制原型芯片。

　　此刻的ASML并没有太大的名气，也没有什么拿得出手的产物，光刻机的财产合作变成了美日两国企业的合作。

　　最为主要的，仍是来自于ASML的手艺专利。ASML取蔡司了EUV光刻机超1500项以上的手艺专利，这些专利成为了后来者难以跨越的城墙。

　　逆向工程对于晚期的简单设备来说是可行的方案，可是跟着财产成长，EUV光刻机进入高精度和从动化，其零件零件达到了几十万个，牵扯到全球5000多家供应链，涉及到的软件系统跨越亿行代码。

　　而且EUV光刻机笼盖了光学、化学、电学、机械、节制、软件等多个根本工程，机械制制完成只是个起头，其实正的难点是将设备市场化，然后不变性和高效率，从而络绎不绝地制制芯片进行盈利。

　　前ASML工程师这个消息是实正在发生的工作，该工程师名叫林楠，2015年至2021年正在荷兰ASML研究部担任研发科学家。林楠正在上海光机所担任激光科学取手艺尝试室副从任。10月份，林楠分开上海光机所，正在航空航天大学担任集成电科学取工程学院传授。